真空泵的使用注意事項

1、真空泵工作時會產生振動，若對生產工藝過程中產生影響。可采取防振動措施或使用無振動的泵。

2、了解介質成分，若被抽為氣體，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體介質選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝如冷凝器、除塵器等輔助設備。

3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵相互組合起來才能滿足要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，都需要把泵組合起來使用。

5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

6、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，泵的工作點應該選在使用范圍之內較為適宜，而不能讓水泵長期超負荷工作。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及一個工作壓強要求。

9、真空泵的價格、運轉及維修費用。